衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究.pdfVIP

维普资讯 第 19卷 第 3期 无 机 材 料 学 报 V01．19．No．3 2004年 5月 JournalofInorganicMaterials May，2004 文章编号：1000—324X(2004)03—0641—06 衬底温度对ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响研究 边继明，李效民，高相东，于伟东 (中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室，上海 200050) 摘 要：以醋酸锌水溶液为前驱体，采用改进的超声喷雾热解法在Si(1O0)衬底上沉积ZnO 薄膜，以x射线衍射 (XRD)、扫描电镜 (SEM)等手段分析所得ZnO薄膜的晶体结构和微观 形貌，着重考察了衬底温度对 ZnO薄膜生长过程及微观结构的影响．结果表明，在衬底温度 为 500。C下所得 ZnO薄膜表面均匀光滑，属六方纤锌矿结构，且沿 c轴择优生长，晶粒尺寸 约为40~50nm；衬底温度对ZnO薄膜生长过程影