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TiO2／SiO2薄膜中的相界扩散及晶化行为研究.pdfVIP

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  • 2015-08-22 发布于未知
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TiO2／SiO2薄膜中的相界扩散及晶化行为研究.pdf

    无机材料学报

    维普资讯 第 13卷 第 1期 无 机 材 料 学 报 Vo1．13 No 1 1998年 2月 JournalofInorganicM aterials Feb ．1998 TiO2／SiO2薄膜中的相界扩散及晶化行为研究 器 大学关 分 。西誊 键 类 摘词 号要 ( f『 本文研究了溶胶 一凝腔法制备Ti02／Si02复台薄膜的晶化行为阻及复合薄膜与过渡层的 相界扩散．采用X—ray衍射分析了50TiO2／50SiO2薄膜中TiO2的析晶特征 研究表明 随 麓 凝 热处理温度的升高 薄膜的结构由非晶转变

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