磁光盘的介质膜材料AlN,AlSiN薄膜的电子显微分析.pdfVIP

) 维普资讯 第9卷 第2期 ，／ 无 机 材 料 学 报 v0】．9．No．2 1994年 6月 JournalofInorganicM aterials June．1994 磁光盘的介质膜材料A1N 、AISiN薄膜的 电子显微分析 ，l 华华(中中理理 弓 ”电子学 汉430074) 7 ／0、’叫J 摘 要 【一 ． f 本文研究了磁光盘介质薄膜 AlN和AISiN薄膜 的电子显微结构．通过透射电镜分 析了A1N薄膜的多晶结构和 c轴垂直取向；通过 X射线衍射分析、透射 电镜分析和X射 线光 电子能谱分析，确定了AISiN薄膜并不是多晶AIN和 SiN薄膜的简单组合，而是形 成了稳定的非晶特征结构．且 AISiN薄膜由于其非晶结构而 比ALN薄膜的磁光克尔效应 增强效果更优越