大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第2期 无 机 材 料 学 报 V01 17 NO 2 2002年 3月 JournalofInorganicMaterials M 2002 文章编号：1000—324X(2002)02—0375—05 大尺寸CVD金刚石厚膜的制备及应用 王 兵 ，冉均 国 ，梅 军 。，李 力 。，季锡林 。 (1四川大学无机材料系，成都 610065；2 西南结构力学研究所，四川绵阳621900) 摘 要 ：采用电子辅助化学气相沉积法 (EACVD]制备了直径 120ram 、厚度 lmm 上的大 尺寸盘刚石厚膜， 这是国内已见报道的最大成膜尺寸 SEM 和Ramaz]光谱分析表 明它 是一种纯晶质的多晶金刚石材料；其硬度接近天然盘刚石． 远高于聚晶金刚石． 将这种材 料加工成拉丝模具， 现场拉丝结果表明其拉丝效果与天然金刚石和进 口优质聚晶相当， 优 于国产聚晶． 用这种金刚