LBO晶体上ZrO2薄膜的显微结构和光学性质.pdfVIP

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2015-08-24 发布于重庆
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第卷增刊强激光与粒子束 ! ! #$%!’$() ! ! ! ! 年月 ! *))+ , -./- 01234 56(34 6’7 0648.953 :36;( 6 =*))+ ! ! 文章编号! # !))!,?** *))+())!,?), ! #YD 晶体上a9D 薄膜的显微结构和光学性质 % ! ! ! * ! ! * ! ! 谭天亚 ! 张伟丽 ! 占美琼 ! 邵建达 ! 范正修 ! ! ! ! 中国科学院上海光学精密机械研究所光学薄膜技术研发中心!上海 $ !’ *)!@)) 中国科学院研究生院!北京 # *’ !)))?P 摘要! 用电子束蒸发方法在三种不同取向的三硼酸锂 !简称 #晶体上沉积了薄膜% 5H:?1 5:1 g=1 ! ! ! ! + * 采用分光光度计和 \射线衍射技术对 5:1 晶体基底结构对薄膜光学性质和显微结构的影响进行了研究%实验结果表明基底结构对薄膜的显微结构和光学性质具有明显影响!即 ! 和上沉积的 Y5:1 ]5:1 I5:1 薄膜分别沿 #! #和 #择优生长!且 #择优取向的薄膜具有最高的折射率 g=1 J ‘*!* J )*! $ !?) J )*! g=1 * * 和最小的晶格不匹配% 关键词! g=1 $ 5:1 晶体$ 电子束蒸发$ 择优取向 ! ! ! ! ! ! * 中图分类号! 1,@,, 文献标识码! 6 ! ! ! ! ! ! ! ! 5:1 是一种性能优良的非线性光学晶体!它有较大的非线性系数!具有透过波段宽’接受角宽’离散