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光透射率气敏薄膜的制备.pdf
电 子 工 艺 技 术 第 卷第 期
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*9\ 光透射率气敏薄膜的制备
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郭竹远!边志华
太原理工大学!山西 太原 #
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摘 要!采用溶胶 凝胶技术!利用旋转涂膜法制备非晶态二氧化锡薄膜!常温下在含有
. U\
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的气氛中光通过薄膜的透射率变大!对 U\有较高的灵敏度$对制备过程中出现的实验现象%制备
机理及薄膜的结构和特性进行了研究$
关键词!二氧化锡气敏薄膜光透射率溶胶.凝胶法
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! #
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