研磨平尺直线度测量方法的探讨.pdfVIP

． ，． ，一． 现代计量测试 1996年第 4期 研磨平尺直线度测量方法的探讨 李 俊 T 召弓J (青海省计量测试研究所) 用准直仪测量平直度，在平板、平尺及有平直度误差要求的零件中，已得到广泛的应用。它 可 以测量零级以下精度要求的平直类量具，其特点是：测量方法简单、迅速，能比较准确地测量 出平直度误差。 对于研音平尺这类直线度误差要求很小的器具 ，通常采用的测量方法有两种：一是仪器法， 采用等倾干涉装置进行比较测量}二是采用标准平晶的光波干涉法测量。这两种测量方法其特点 是测量精度高，但前者 由于条件限制和计算麻烦，故很少菠用，而后者操作方法虽简单，但受操 作者熟练程度的影 响，人为的误差较大。 用准直仪对研磨平尺的直线度误差进行测量，精度 是否能达到要求，对此我们做 了一些实验 测量和误差分析 。 一 、 测量形武 对--J~：4OOmm长研磨平尺，直线度误差要求0．611m。选用702型光电自准直仪测量。分 度 值i=0．1秒，选用镜面直径为 15ram，跨距i=40mm的反射镜。为 了提高读数和对准精度，采 用光电瞄准。 二、测量原理 用光电自准直仪测量，是以平行光管发出的平行光线为理想直线与被测表面相比较，并确定直 线度误差值的 ，自准直仪由仪器本体和反射镜两部分组成，反射镜底座面上由三个支承圆平面组成 l=40ram的踌距桥板。测量时，反射镜沿测量长度方向分段依次移动，两次移动中，反射镜支承 点首尾两点应相接 。仪器读数即表示反射镜两支承点相对于光管光轴直线的角度变动量。测得各 段读数后 ，可根据它绘制出图形 曲线，然后按直线度定义用两平行直线包容此实际线 ，且 以其距 离为最小的作 为其直线度误差，或者也可以直接用此测得 的数据用计算的方法计算出其符合最小 条件的直线度误差值 。 三、测量方法 将研磨平尺被测工作面清洗干净，同光电自准直仪一起安置在稳固的平台基面上，为消除研 磨平尺本身重量的弯曲变形，按支承最小变形原则，选距平尺两端面吾L处为最佳支承点(L； 20 ； 平尺长度mm)，垫 以支蘑块支承平尺 。将平尺大致调正水平 ，调正反射镜的位置 ，找象，利用光 电瞄准读数，按节距法进行测量 。为了保证反射镜在移动过程 中能精确地沿直线位移和保证其严 格按分段衔接移动，最大限度减少 由于此项的不精确而带来的附加角度误差，测量时，用一直尺 在反射镜的侧面定位，并在分段上做出标志。这样在每次移动时，就可 以沿直尺定位面和分段标 志衔接移动。节距法测量直线度是检定平R工作而为每一个跨距所组成的点，为此，在一跨之内 是否有局部直线度误差，还可以用平面平晶检查，按光波干涉法计算局部区域是否有大的误差出 现和遗漏，保证用准直仪测量时的完整性和准确性。 四 测量误差分析 用 自准直仪测量直线度误差时，是通过分段测量，将所得到的单个数据进行数学 处理 或 作 图，然后求出其直线度误差值的。因此直线度的测量误差是单次测量的综合，每一个测点的测量误 差将影响直线度误差值的大小。影响每测点的测量误差的主要因素有 (注：此测量是在条件 良好 的恒温室进行，环境条件所引起的误差可忽略不计 )：仪器本身的误差，对准读数误差，反射镜 在被测表面上的定位误差}以及 由于分段数 引起的误差 。 节距法测量直线度误差，是以两端点连线为评定基准。为此，各测点的直线度误差用下式计 算； l ： n ： l ； n i l ，一 ‘ 。 “一 t 一 ’ ．ai “ i l 1 i i 式中 f，：每测点直线度误差Ji：测点的测量序号}n：分段数，a，：测点的测量读数 (格值)。 设各测量点的单次测量极限误差分