PZT压电陶瓷液相低温烧结技术的研究进展.pdfVIP

第 22 卷 　第 4 期 山　东 　轻 　工 　业 　学 　院　学 　报 Vol . 22 　No . 4 2008 年 　 　12 月 JOURNAL OF SHANDON G INSTITUTE OF LIGHT INDUSTRY Dec . 　 2008 ( ) 文章编号 :1004 - 4280 2008 04 - 0015 - 04 PZT 压电陶瓷液相低温烧结技术的研究进展 马 　元 ,沈建兴 ,闫春蕾 ( 山东轻工业学院 材料科学与工程学院 ,山东 济南 250353) 摘要 :阐述了 PZT 压电陶瓷烧结过程中的液相传质机理及实现液相烧结的主要途径 。综述了 PZT 压电陶瓷材料的 液相低温烧结研究方向与进展 。 关键词 :PZT ;低温烧结 ;液相烧结 中图分类号 :TM282 　　　　文献标识码 :A Research and advances in techniques of low temperature liquid phase sintering PZT piezoelectric cera mics MA Yuan ,SHEN Jian - xing ,YAN Chun - lei ( School of Material Science and Engineering , Shandong Institute of Light Industry , Jinan 250353 , China) Abstract :This paper reviews the mechanism of mass transfer in liquid phase during low temperature sintering PZT piezoelectric ceramic , and the main way of achieving liquid - phase sintering. The development and trend of PZT piezoelectric ceramic prepared by low temperature liquid phase sintering are presented . Key words :PZT ; low temperature sintering ; liquid - phase sintering 等替代 Pt 、Pd 等贵金属作为内电极一次烧成多层片 0 　引言 式压电元器件 ,从而大大降低器件的成本 , 同时还节 约了能源[4 ] 。 ( ) 锆钛酸铅陶瓷 PZT 因其优异的性能在压电陶 此外 ,低温烧结的深入研究可以促进烧结理论 瓷方面已经得到了广泛的应用 。但含 PZT 的压电陶 的发展 。 瓷烧结温度一般都比较高 ,约为 1200 ℃。而氧化铅 目前 ,降低陶瓷烧结温度的工艺方法有 :改进烧 ( PbO) 的挥发温度为 800 ℃左右 。因此 ,在烧结过程 结工艺 、改进制粉工艺和液相烧结的方法等 。其中 中很容易造成 PbO 的挥发 , 这不仅会造成环境污 由于液相烧结的工艺最简单 ,成本最低廉 ,