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单颗金刚石磨粒磨削SiC的磨削力实验研究.pdf
年 月 第 期 金刚石与磨料磨具工程
０１４ ４ ２ Ａ ｒｉｌ２０１４
２
ｐ
第 卷 总第 期
３４ ２００ Ｄｉａｍｏｎｄ ＆ ＡｂｒａｓｉｖｅｓＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ Ｎｏ．２ Ｖｏｌ．３４ ｅｒｉａｌ２００
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单颗金刚石磨粒磨削ＳｉＣ的磨削力实验研究＊
， ，
贺 勇 黄 辉 徐西鹏
（ ， ）
华侨大学脆性材料加工技术教育部工程研究中心 厦门３６１０２１
摘 ， 陶 进 ，
要 选取两种不同锥度角的金刚石磨粒 分别用其对 ｉＣ 瓷和单晶 ｉＣ 行了单颗磨粒磨削实验
Ｓ Ｓ
， 。 ：
检测了磨削过程中的磨削力大小 分析了磨削参数对磨削力的影响 实验结果表明 磨削力随着切削深
， ； ， ；
度的增大而增大 随磨削速度的减小而增大 随着磨粒顶锥角的增大 磨削力明显增大 磨削单晶 ＳｉＣ
（ ） 。
的磨削力大于磨削 陶瓷的磨削力
６Ｈ ＳｉＣ
； ； ；
关键词 ｉＣ金刚石磨粒 划擦 磨削力
Ｓ
中图分类号 ； 文献标志码 文章编号 – （ ） – –
Ｑ１６４ ＴＧ７３ ００６ ８５２Ｘ ２０１４０２ ００２５ ０４
Ｔ Ａ １
码 ／
ＤＯＩ １０．１３３９４ ．ｃｎｋｉ． ｓｚｚ．２０１４．２．０００６
ｊ ｊｇ
ｔｕｄ ｏｎｔｈｅ ｒｉｎｄｉｎ ｆｏｒｃｅｓｆｏｒＳｉＣｗｉｔｈｓｉｎｌｅｄｉａｍｏｎｄ ｒｉｔ
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