基于纳米图案化衬底的非晶硅薄膜太阳能电池%3a结构设计与光%2f电耦合模拟.pdfVIP

第 14 届中国光伏大会 （CPVC14）论文集 基于纳米图案化衬底的非晶硅薄膜太阳能 电池：结构设计和光/ 电耦合模拟 1 1 2 1 林引岳 ，黄洪涛 ，林清锋 ，鲁林峰 ， 1 2 1 陈小源 ，范智勇 ，李东栋 （1.中国科学院上海高等研究院，上海 201210 ； 2. 电子及计算机工程学系，中国香港九龙清水湾） 摘 要：薄膜太阳能电池性能的高低取决于其对光的吸收能力以及载流子的分离和收集 能力。我们尝试在金属铝箔上设计一系列具有不同周期和深宽比的纳米坑状结构，以氢 化非晶硅薄膜太阳能电池为例，研究了这些新型衬底的几何结构和尺寸对光电转化性能 的影响。光学数值计算表明，沉积在纳米图案化衬底上的电池均表现出宽带的光吸收增 强效果。但是较高的深宽比往往会影响薄膜沉积的均匀性，进而导致内建电场和载流子 收集能力的退化，使得电学性能下降。为了研究基于纳米图案化衬底的太阳能电池中的 电学传输特性，通过光学与电学相耦合的联合建模，计算了非晶硅吸收层中电学参数的 空间分布情况。首先比较了电流密度和电场强度在不同偏置电压下的空间分布情况。图 案化的电池具有较高短路电流，但开路电压发生降低。仔细观察发现电池顶部尖角处的 局部电场比较弱，电流的局部反转首先发生在电场较弱的区域。进一步的模拟结果表明， 通过提高 p 层的掺杂浓度，可以提高内建电场，乃至短路电流和开路电压。这些结果对 于纳米陷光结构的优化设计和高性能薄膜太阳能电池的研究将起到一定的指导意义。 关键词：非晶硅薄膜太阳能电池；纳米结构；光学模拟；电学模拟；开路电压 1 引言 其性能高低的关键问题。其中，在电池中 非晶硅薄膜太阳能电池具有较高的 引入纳米微结构已经被证实可以高效提 光吸收系数，较高的开路电压，制备工艺 高电池的吸收和效率。 和设备简单等优点，因此，受到了研究者 制备图形化衬底是引入纳米微结构 们广泛的关注。目前，在保证非晶硅基薄 的有效途径。例如，使用光刻技术在透明 [1] 膜电池较高的载流子分离和收集能力的 氧化物玻璃上制备微纳结构 ；也有研究 [2] 基础上，有效提高活性层的光吸收是研究 者用自组装纳米球的方法 。但是这些方 227 第 14 届中国光伏大会 （CPVC14）论文集 法工艺复杂，且成本较高，不利于实现大 在上述图形化衬底上制备 n-i-p 非晶硅薄 规模生产。近来，我们尝试了使用廉价的 膜太阳能电池。其制备流程如图 1 （a1, a2 ） 阳极氧化的方法，在铝箔上设计了一系列 所示，具体的电池结构是 Al/Ag/AZO/n-i-p 具有不同周期和深宽比的纳米凹坑结构。 a-Si:H/ITO。理论方面，利用 FDTD 的方 实验和模拟结果都表明以这些结构为衬 法对电池的光学性质进行了仿真，并利用 底可以有效提高电池的光吸收 [3-