基于原子力显微镜的CDDVD表面形貌检测.pdfVIP

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基于原子力显微镜的CDDVD表面形貌检测.pdf

273 () Vol.27No.3 2006 5 Journalof Jishou University (Natural Science Edition) ay.2006 : 1007- 2985(2006)03- 0055- 02 CDDVD 1 2 1 孙志 , 罗胜耘 ,樊永发 (1. , 550025; (2. , 550025) :利用原子力显微镜对光盘( CD)和数字通用光盘( DVD) 表面结构进行三维 测,使用CSP - 2000 Imager软件计 算和分析扫描得到的图像.结果显示, 高存储容量的DVD 光盘将取代CD 光盘成为外存的主流. :原子力显微镜; 光盘;数字通用光盘; 道间距 :TQ597;TG502.37 :B (AtomicForce icroscope,AF ) (Scanning Tunneling icro- [ 1] scope,ST )(Scanning Probe icroscope,SP ). 1982,Binnig G 1 .ST ,, ,., . [2- 4] ST , 1986 ,Binnig G 1 .ST ,AF [5] , . 20 70 . , . , ,. (Compact Disc,CD)(DigitalVersatile Disc,DVD) .,,, , ,, 102 [6] . , ,1 . , CD DVD . 1 (CSP - 3100 , ST AF ,0.26 nm 0. 1nm,28m28 m) ,AF NSC21AlBS(20 nm,30 kHz,1Nm). CD-R DVD-R, 512512, 3 Hz., CSP - 2000 Imager . :2006- 02- 19 : : ( 1981- ) ,, ,,. 56 ( ) 27 2 CD-R DVD-R(1,2,nm)(3,4, nm)(5,6,1,2 ). CD 196 nm, 1700 nm;DVD 218nm,900 nm. ,DVD CD-R .,DVD, DVD-R CD-R 7 (DVD-R 4.7 G ,CD-R 0.68G). 1CD 2 DVD 3CD 4 DVD 5 CD 6 DVD [7] AF , CSP - 2000 Imager , ,AF . 3 ,AF . ,,. ,DVDCD,. ( 下转第66 页) 66 ( )

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