ECR-CVD制备类金刚石碳膜的正交实验法研究.pdfVIP

2011年 3月 润滑与密封 Mar．201l 第36卷 第3期 LUBRICAT10N ENGINEERING Vo1．36No．3 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2011．03．012 ECR—CVD制备类金刚石碳膜的正交实验法研究 谷坤明 王 超 毛 斐 虞 烈 汤皎宁 (1．深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室 广东深圳518060； 2．西安交通大学机械学院 陕西西安710049) 摘要：采用系统的正交实验法对 ECR-CVD法沉积类金刚石碳膜 (DLC)的优化工艺进行研究，并分析不同工艺参 数对DLC膜性能的影响。共选择基片温度、H 流量、微波功率、直流偏压、脉冲偏压 以及脉冲偏压占空比6个参数建 立起6因素5水平的正交表，分别以薄膜摩擦因数、磨损率、显微硬度、拉曼谱中D峰与G峰的面积比，。／，c作为考察 对象进行研究