水热电化学技术及其在陶瓷薄膜制备中的应用.pdfVIP

维普资讯 文章编号 ：1001—9731c2002)03—0240—03 水热电化学技术及其在陶瓷薄膜制备中的应用 高道江 ，肖定全 ，张 文 ，朱建国 ，中 林 (Ll四川大学 材料科学系 ．四川 成都 610064~2．四川师范大学 化学与生命科学学院，四川 成都 610068) 摘 要： 盎文概 括介绍软 溶 液 工艺技 术 (SofrSolutionPro 独的水热涪相应说来还是 需要较高的温度和压力 ；单独的电化 CeSSing简记 为SSP)中的重要工 艺技术一水热电化学制备技术的 学工艺由于电解槽不能很好地密封 ．某些类型的材料特别是钙 基奉原理和特点．重点舟绍谊技术在先进陶瓷薄膜材料(尤其是 钍矿型的介电陶瓷薄膜 的制各 尚有很大的困难t而且其电化学 具有钙杖矿结构 AB(]型薄膜)制备 中的主兽应用厦其扰势，井 成膜 的速率较低 如文献 [3]报道 的电化学制各 BaTiO 薄膜 对该技术在先进 无机材料剞备领域的应用前景进行 了展望。 一 般均需 24h，且膜的厚度很小 。因此 ，把水热法和电化学法有 关键词 ： 软溶液工艺技术fSSP】j水热 电化 学技术 ：无机材料 ； 机 的结台起来 ，形成水热 电化学方法应该是银有潜力的。目前， 陶瓷薄膜 该方法 已经成功地用于钙 钍矿型 (ABO )铁 电陶瓷薄膜的制各。 中国分类号： FB43jTQ110 文献标识码 ：A 水热电化学反应 的装置如图 1所示 ，它是在水热釜里加^ 直流电场 ．在水热条件和 电场作用下进行陶瓷薄膜的制各 。 1 号l 舌 陶瓷薄膜是 臣前材料科学技术 中研究的热点之一，究其原 因，陶瓷薄膜可应用于众多新拄术领域如光学领域 (制作反射 膜 、增反膜 、减反膜 、窗 口薄膜等)、电子学领域 (制作 电极膜 、绝 缘膜 、电阻器 、电容器 、传感器 、超导元件、薄膜 晶体管等)、光 电 子学领域(制作探测器、光敏 电阻、光导摄像靶等)、集成光学领 域(制作光波导、光开关、光调制等)和防护薄膜(制作耐腐蚀层 、 耐高温氧化层等) 由于陶瓷薄膜的种类很多，因而它的制备 圈1 水熟 电化学反应 的装置 方法也是多种多样 的。归纳起来 ，陶瓷薄膜的制各方法可分为 Fig1Schematicillustrationoftheelectrochemicalcellandcircuit 两大类 物理方法和化学方法 。其 中比较成熟的有物 理挂中的 arrangementsforhydrothermat—electrochemicalmethod 真空蒸发、磁控溅射 、离子束溅射和分子束外延等 ；化学法中的 水热 电化学技术 的基本原理如下：在特制 的密闭反应容器 化学气相沉积 、溶胶 凝胶 、液相外延和 电化学沉积等。这 些方 (高压釜)里 ，采用水溶液作反应介质 ，通过对反应容器加热，创 法各有特点，但也都存在一些不足，要幺是工艺复杂或设备投人 造了一个高温、高压 的反应环境 ，使得通常难溶或不溶的物质溶 高 ；要幺是产 品性能差 、产率低 ；要么是对环境影响太 。因此．寻 解或溶解度增大。一方面 ，在水热条件下水 的牯度、介 电系数和 求一条茼捷 、低耗、环境友好和产 品性能优异的制备技术就成为 膨胀系数会发生相应 的变化 。在稀薄气体状态 ，水 的牯度随温 材料科技工作者 ，特别是