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M 测 量 easurement 激光干涉仪测量数控机床位置精度 ( 110141) 沈阳机床股份有限公司 辽宁 李玉文 刘戈锋 ， ， 何为数控机床位置精度 就是指一台机床的刀 化时 在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化 ， ， 尖所能够达到控制系统程序设定的目标位置的能力 信号 这些变化会被计算并用来测量两个光程之间 也是用户最为关注的技术指标及所能够满足加工精 的差异变化。 度的需求。 2. 激光干涉仪的用途 1. 激光干涉仪测量原理 激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度