KDP晶体真空吸附方式对加工面形精度的影响.pdfVIP

第27 卷 第1期 佳 木 斯 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) Vol. 27 No. 1 2009 年 01 月 ournal of iamusi University ( Natural Science Edition) an. 2009 : 1008- 1402( 2009) 01- 0001- 03 KDP 1, 2 3 1 2 2 , , , , ( 1. , 150001;2. , 150001; 3. , 154007) : 建立KDP 晶体与真空吸盘间有限元接触模型, 并利用该模型分析吸气孔和吸气槽真 空吸盘对KDP 晶体面形精 的影响, 分析了不同直径的吸气孔真空吸盘对KDP 晶体变形的影 响. 结果表明: 增大真空吸盘的占空比, 可以减小完全吸附所需的真空 . 吸气孔的直径越小, 表 面的变形越小. 研究还发现, 采用吸气孔吸附方式比采用吸气槽吸附方式可以得到更理想的面形 质量. 该结论对提高KDP 晶体面形精 有着重要指导意义.