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微弧氧化与磁控溅射复合处理的钛合金表面耐磨性研究 童洪辉，金凡亚 （核工业西南物理研究院，四川 成都 610041 ） ［摘 要］ 微弧氧化处理后的钛合金，表面形成的多微孔氧化膜可使其摩擦因数降低且耐磨性 得到提高，但这还不能满足某些使用要求。在微弧氧化的基础上再利用脉冲偏压式磁控溅射技术在 钛合金表面沉积氮化钛涂层。球 盘磨损试验表明，与微弧氧化相比，其摩擦因数进一步降低且耐磨 ! 性进一步提高，这主要是沉积富钛氮化钛使氧化膜的微孔得到了部分或全封闭的覆盖。 ［关键词］ 复合表面处理；微弧氧化；磁控溅射；钛合金；耐磨性 07 - 0018 - 03 ［中图分类号］TG174. 444 ［文献标识码］A ［文章编号］1001 - 1560（2005 ） ! 前 言 主要化学成分（质量分数）：5.