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2006 年 12 月 山 东 师 范 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版) Dec . 2006 ( ) 第 21 卷 　第 4 期 Journal of Shandong Normal University Natural Science Vol . 21 No . 4 溅射后氨化法制备氮化镓薄膜技术综述 1) 1) 1) 1) 2) 1) 孙莉莉 　　薛成山 　　庄惠照 　　艾玉杰 　　孙传伟 　　王福学 ( 1) 山东师范大学半导体研