磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜结合性能的影响.pdfVIP

磁控溅射工艺参数对不锈钢薄膜结合性能的影响 周志华，傅明喜。黄兴民，陆琼晔 (江苏大学材料科学与工程学院，江苏镇江212013) [摘要]采用直流磁控溅射法在钢片上制备不锈钢薄膜，通过改变溅射功率、溅射时间、真空度、氩气压强、基 片与靶材间距等，研究其对薄膜结合力的影响。为获得致密度高、结合力好的不锈钢薄膜提供了可行的工艺参数范 围。 [关键词]磁控溅射；不锈钢薄膜；工艺参数；结合力 [中图分类号]0484．5[文献标识码】A [文章编号】1001—1560(2004)1l—0027一02 O前言 min，氩气压强为O．5Pa。通过控制不同的试验参数(溅射 功率、溅射时间、真空度、基片与靶材间距)，制备出各种质 不锈钢薄膜的结合力是影响薄膜耐腐蚀性的重要参数 量的薄膜。 之～。薄膜的制作包括源蒸发、迁移和凝聚3个重要环 节…。薄膜在基底上的形成过程比较复杂，包括膜的形核、 2结果与分析 长大、膜与基