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维普资讯 第7卷 第2期 宁 夏 工 程 技 术 V01．7 No．2 2008 年 6 月 Ningxia Engineering Technology Jun．2008 文章编号：1671—7244(2008)02—0133—03 一 种基于微型谐振腔的环形光探测器的设计 沈 虹 君 (宁夏大学 物理电气信息学院，宁夏 银川 750021) 摘 要：提出了一种基于微型谐振腔的新型环形光探测器，该探测器结构紧凑，较之RCE型光探测器具有高速、 高量子效率、易于平面集成等优点．导出了该探测器的量子效率的表达式，分析了环形光探测器半径对光谱的 半高全宽(FWHM)的影响；分析了吸收腔厚度、环形光探测器宽度及半径对响应带宽的影响．结果表明，谐振腔 的半径越大，FWHM越小，量子效率的峰值间隔越小；吸收腔的半径和波导宽度越大，响应带宽越小． 关键词：微型谐振腔；环形光探测器；量子效率；响应带宽 中图分类号~TN248．4 文献标志码：A 半导体环形、盘形、球形谐振腔等新型结构由于 环形谐振腔部分 ， 为环形吸收腔部分．C。部分的 其在光通信中的滤波、波长转换、波分复用和解复用 剖面图如图2所示 ，环的中心处的半径为 。． 部 中的应用得到了广泛的关注和研究[1-3]．环形、盘形 分的剖面图如图3所示 ，环的中心处的半径为 ， 的半导体激光器也已实现，但基于此类微型谐振腔 吸收层采用本征 InCaAs的材料．谐振腔部分可以 的探测器的研究还很少见到，文献[4】首次提出了基 Ea J 于环形腔的新型光探测器．环形光探测器与谐振腔 ／— — 、 ‘ 增强型(RCE)光探测器相比具有高速 、高量子效 率、结构紧凑等优点，其制作设计过程较为简单，避 免了考虑DBR反射镜、驻波效应、光入射角度影响 ＼ ／ 等因素，与垂直腔结构的器件相比更易于大规模的 l 平面集成．这种基于微型谐振腔的光探测器在未来 光通信系统及大规模光电集成中将会有很广阔的应 用前景． 图1 环形探测器的俯视图 本文提出了一种基于微型谐振腔的新型环形光 Fig．1 top view ofmicro ring photodetector 探测器，与文献[4】所提出的光探测器结构不同，将 谐振腔和吸收腔分离开，这将会使光谱的半高全宽 (FWHM)变窄，提高了探测器对光谱的灵敏度．在完 全耦合的情况下，该探测器的量子效率可以达到 l 的理论值． 图2 环形探测器的剖面图 1 理论模型 Fig．2 section planeofmicro ring detector I．I 环形光探测器的量子效率 微型谐振腔可以由半导体环形 、盘形或球形 腔构成 ，本文选用环形谐振腔进行分析 ，文献[5】、 文献 [6】、文献[7】分别对环形、盘形、球形谐振腔的输 出耦合系数进行了分析，得到了微型谐振腔的输出 耦合系数便可以求出基于微型谐振腔的环形光探测 图3 环形吸收腔的剖面图 器的量子效率．图l为环形探测器的俯视图，c为 Fig．3section planeofabsorption cavity ofring