X射线光电子能谱的应用介绍.pdfVIP

第 20 卷第 8 期 化工时刊 Vol . 20 ,No . 8 　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　 2006 年 8 月 Chemical Indu stry Time s Aug . 8 . 2006 X 射线光电子能谱的应用介绍 文美兰 ( 东南大学物理系 ,江苏 南京 2 10096) ( ) 摘要 　X 射线光电子能谱 XPS 是较常用的表面分析技术之一 ,不仅能测定材料表面的组成元素 ,而且还能给出各元 素的化学状态信息 ,在很多领域都有广泛用途 。本文主要通过一些具体例子介绍 X 射线光电子能谱在表面元素的定 性和定量分析方面的应用 。 关键词 　XPS 　化学态 　化学位移 　 Introduction of X - ray Photoelectron Spectroscopy Application Wen Meilan (Department of Physics , Southeast University , Jiangsu Nanj ing 2 10096 ) Abstract 　X - ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) is one of tile common techniques on surface analysis , which can determine the elements of the materials and also can give the information of the elements’chemical states , and it can be ap plied in many fields. The specific examples were used to illustrate the applications of XPS in qualitative analysis and quanti tative analysis. Key words 　XPS 　chemical state 　chemical shift ( ) 　　X 射线光电子能谱 XPS 的优点是其样品处理的 不同元素芯光电子峰的结合能可进行元素组成鉴别 。 简单性和广泛的适应性与高信息量 。XPS 的最大特 要知道样品的表面元素组成可以通过全谱扫描 ,要鉴 ( ) 色在于能获取丰富的化学信息 ,对样品表面的损伤最 别某特定元素的存在可通过窄区扫描 图 1 。 ( ) 轻微 ,表面的最基本 XPS 分析可提供表面存在的所 全谱扫描 Survey scan :对于一个化学成分未知 ( ) [ 1] 的样品 ,首先应作全谱扫描 , 以初步判定表面的化学 有元素 除 H 和 He 外 的定性和定量信息 。正是 由于 XPS 含有化学信息 ,它也通常被称为化学分析