Al2O3SiO2耐磨增透膜的制备和表征.pdfVIP

0254-0096(2011)10-1440-05 Al2O3/SiO2耐磨增透膜的制备和表征 陈明洁1 郭志坚1 印冰2 1.华南农业大学理学院应用化学系，广州510642;2.中山大学物理科学与工程技术学院，广州510275 摘要：以正硅酸乙酯(TEOS)和异丙醇铝(Al(OC3H7)3)为前驱体，采用溶胶-凝胶(sol-gel)提拉方法在玻璃基片 上制得高透、耐磨的增透膜。使用XRD、UV-Vis、IR、和TEM测试和分析了溶胶和薄膜的结构及性能。研究表明： 通过添加一定比例的Al2O3，使颗粒之间生成稳定致密的氧桥键Si-O-Al以及煅烧后γ-Al2O3的存在，调控了薄 膜的微观结构，不仅明显提高了薄膜的力学性能，同时复合薄膜的光学透过率仍最高达99.2％。 增透膜；A12O3/SiO2；溶胶-凝胶法；耐磨 O484.4 A 2009-10-29 陈明洁(1977-)，女，讲师，主要从事纳米功能材料和薄膜方面的研究。mingmin@scau.edu.cn 1441 1442 @@[1] HrubeshLW,PocoJF.Thinaerogelfilmsforoptical thermalacousticandelectronicapplications[J].Journal ofNon-CrystallineSolids,1995,188(1-2):46-53. @@[2] 马永新，周有苏.溶胶-凝胶法二氧化硅增透膜的制备 与研究[J].航天环境工程，2008，25(3)：298-301. @@[3] FlochHG,BellevillePF.Ascratch-resistantsingle layerantireflectivecoatingbyalowtemperaturesol-gel route[J].JournalofSol-GelScienceandTechnology, 1994,1(3):293-304. @@[4]贾巧英，乐月琴，唐永兴，等.溶胶-凝胶法制备耐磨 宽带SiO2/TiO2增透膜[J].光学学报，2004，24(1)： 65-69. @@[5] PerNostell,ArneRoos,Bj(o)rnKarlsson.Opticaland mechanicalpropertiesofsolgelantireflectivefilmsforsolar energyapplications[J].ThinSolidFilms,1999,351(1- 2):170-175. @@[6] HaereidS,DahleM,EinarsmdMA.Preparationand propertiesofmonolithicsilicaxero-gelsfromteos-basedal cogelsagedinsilinesolutions[J].JournalNon-Crystal- lineSolids,1995,186(2):96-103. @@[7] ImaiH,MorimotoH,TominagaA,etal.Structural changesinsol-gelderivedSiO2andTiO2filmsbyexposure towatervapor[J].JournalofSol-gelScienceandTech nology,1997,10(1):45-54. @@[8] 吴广明，陈炎，沈军，等.纳米多孔SiO2薄膜的 结构控制与强化[J].同济大学学报 （自然科学版）， @@[12]ZengZhiqiang,XialXiaoyue,GuiZhilun,etal.Prepara 2004，32(6):836-840.