PBS法测量Ti膜中H同位素深度分布.pdfVIP

第44 卷增刊 原 子 能 科 学 技 术 Vol. 44, Suppl. 2010 年9 月 Atomic Energy Science and Technology Sep. 2010 PBS 法测量 Ti 膜中 H 同位素深度分布 1 2 1 丁 伟 ，施立群 ，龙兴贵 （1. 中国工程物理研究院 核物理与化学研究所，四川 绵阳 621900 ；2. 复旦大学 现代物理研究所，上海 200433 ） 摘要：在Mo 底衬上制备了约5 μm 的3 个TiD T 样品，用质子背散射（PBS ）法分析了D、T 在Ti 膜 x y 中的深度分布，其中，T 的分析能得出较为准确的结果，而D 的分析结果受质子在Mo 底衬中多次散射 信号的影响偏差较大。分析结果表明，PBS 法测量的T 含量和浓度与样品制备过程中测量的结果一致， 且T 在Ti 膜中分布均匀。这证明PBS 法可用于对材料中T 浓度与分布的分析。 关键词：质子背散射；钛膜；氢同位素 中图分类号：TL8 文献标志码：A 文章编号：1000-6931 （2010 ）S0-0563-04 Measurement of H Isotope Profile in Ti Film With PBS Method 1 2 1 DING Wei ，SHI Li-qun ，LONG Xing-gui （1. Institute of Nuclear Physics and Chemistry , China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China; 2. Institute of Modern Physics, Fudan University, Shanghai 200433, China） Abstract: Three TiD T films made on Mo substrates with about 5 μm thickness were analyzed x y by using proton backscattering (PBS) method. The spectra show that the tritium profile can get an accurate analysis result, and the deuterium profile has a big bias due to the interference of the signal coming from the proton multi-scattered from the Mo substrate. The analysis results show that the T content and concentration measured by PBS method are coincident with the measurement results got in the samples during preparing process, and the tritium has an even distribution in Ti film. It is proved that the PBS method can be applied in T content and concentration analysis in