薄膜材料物理之薄膜的形成(25页).pptVIP

成核速率∝临界核密度×每个核的捕获范围×吸附 原子向临界核的总速度 ※由统计理论，临界核密度: 两种成核理论的对比： 微滴理论（毛细作用理论）—热力学—凝结论，适用于描述大的临界核，可用热力学参数. 原子理论—统计物理学—原子成核与生长模型，适用于描述小的临界核. §1.4 凝结系数 凝结：吸附原子结合成对及其以后的过程. 凝结系数： §1.5 薄膜的形成 薄膜的形成顺序： ①小岛阶段—成核和核长大 透射电镜观察：大小一致(2-3nm)的核突 然出现.平行基片平面的两维大于垂直方向 的第三维。 说明：核生长以吸附单体在基片表面的扩散， 不是由于气相原子的直接接触。 §1.6 薄膜的结构 组织结构 晶体结构—薄膜中微晶的晶型 1.6.1 组织结构 ※无定形结构—无序结构，近程有序， 远程无序。 类无定形结构—极其微小的(2nm)晶粒且无规则排列。高熔点金属薄膜、高熔点非金属化合物薄膜、碳硅锗的某些化合物薄膜，以及两不相容材料的共沉薄膜。 ※多晶结构—无规取向的微晶组成，晶粒10-100nm 低熔点金属薄膜。 1.6.2 晶体结构 大多数情况下，薄膜中微晶的晶体结构与块材的相同，只是晶粒取向和晶粒尺寸可能不同于块材。 晶格不匹配