TiO2薄膜结构及氧敏性研究.pdfVIP

第34卷 第5期 稀有金属材料与工程 、，01．34．No．5 2005年 5月 RAREMETALMATERIAI．SANDENGINEERn呵G May2005 Ti02薄膜结构及氧敏性研究 徐艳姬，徐明霞，谢少桥，李岩，徐廷献 (天津大学，天津300072) 摘要：利用溶胶．凝胶技术制备了Ti02氧敏薄膜，通过氧化物掺杂和贵金属的表面修饰，在空气气氛下烧结氧敏薄膜。 结果表明：600℃～800℃下处理的薄膜是以金红石为主晶相及少量锐钛矿的混合晶型，随着温度升高锐钛矿减少， 物掺杂促进Ti02薄膜微量氧化还原，增加催化反应活性，使薄膜的氧气灵敏度有明显提高；以Pd对、¨Ti02薄膜进行 表面修饰，使薄膜的阻温特性得到了明显提高。 关键词：Tio：；氧化物掺杂；Pd修饰；微量氧化还原；氧敏性；阻温特性 146．4 中图法分类号：TG 文献标识码：A 文章编号：l002．185x(2005)05—0709一04 利用扫描电镜和x射线衍射仪分别检测了薄膜的 1 前 言 Ti02半导体氧敏元件用作汽车发动机空燃比(刖F测定薄膜的氧敏特性和阻．温特性。 比)监控系统，因为不需要参比气体，结构简单，成本 3结果与讨论 低，从上世纪80年代以来一直为人们所关注【lqJ。其 工作原理是通过表面与发动机排放气体接触发生氧化 3．1 烧结温度对薄膜结构与性质的影响 一还原反应而导致敏感材料输出电阻(或电压)信号变化 600℃～800℃下处理的薄膜以金红石为主晶相及 实现检测A／F的目的。由于半导体敏感元件的阻值往 少量锐钛矿的混合晶型，随着温度升高，锐钛矿减少， 900℃时锐钛矿相基本消失，如图1所示。 往随着温度的变化波动大，在200℃～800℃范围，阻 值变化高达3个～5个数量级【34】，干扰监控信号。还 原气氛下(H2)烧结的氧敏薄膜，含有Ti02。混合晶相及 贵金属修饰的薄膜阻温特性(R．乃有明显的改变【5，6J，但 还原气氛会给工艺带来一定困难。由于过渡金属是变 价元素，其氧化物大多容易偏离化学计量组成，发生 微量氧化还原反应和氧化还原循环而增加表面催化活 性【7】，从而获得高的氧敏性。本研究通过氧化物掺杂 和贵金属的表面修饰薄膜，以期在空气气氛下烧结氧 敏性和阻．温稳定性好的氧敏材料。 2 实 验 2洲(o) 2．1 Ti02氧敏薄膜的制备 以钛酸丁酯(Ti(OC4H9)4)为主要原料制成透明溶 图l 不同温度烧结薄膜的xRD图谱 XRD ofthefiImssintered Fig．1 pattems 胶，掺杂氧化物V205，w03，Ce02，以V205，H2w04， atdi行brent Ce(N03)3为原料制成透明溶液引入溶胶中，然后采用 temperatures 浸渍法在A1203基片上制成Ti02及其掺杂．修饰薄膜【8]。 2．2测试 图2为不同烧结温度处理薄膜的sEM照片。可以 收到初稿日期：2003．09．22；收到修改稿日期：2003—10—15 基金项目：国家自然科学基金资助项目 万方数据 稀有金属材料与工程