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不同形貌的金字塔结构对硅片表面钝化和异质结太阳电池的影响.pdf

HuaxueXueba01 物理化学学报(Wuli 1758 758—1763 Acta川咿.一劬砌.Sin.2014,30(9),1 [Article】 doi:10.3866/PKU.WHXB201406301 不同形貌的金字塔结构对硅片表面钝化和异质结太阳电池的影响 王利果1’2 张晓丹2·+ 王奉友2 王宁L2 姜元建2 郝秋艳1 许盛之2 魏长春2 赵颖2 (1河北工业大学信息功能材料研究所,天津300130;2南开大学光电子薄膜器件与技术研究所, 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津300071) 摘要:在晶体硅表面沉积本征非晶硅层的异质结(SHJ)太阳电池以其高效率、高稳定性、低成本和低温制备等 诸多优势被人们广泛关注.在晶体硅衬底表面制绒,是提高太阳电池效率的有效途径之一.本文采用四甲基氢 氧化铵(TMAH)在硅片表面制备了不同形貌的金字塔结构的硅异质结电池衬底,并应用到电池中.通过研究不 同金字塔的形貌,光学特性以及电学特性,找出提高硅片钝化效果,改善异质结电池的性能的优化的金字塔结 字塔结构相比较,标准四面体金字塔结构绒面衬底反射率最低,可以提高太阳电池的短路电流密度(上).同时, 这种结构金字塔形貌可以提高钝化效果,改善电池各项性能参数. 关键词:制绒:金字塔形貌:反射率:少子寿命:钝化:异质结电池 中图分类号:0649 InfluenceofDifferent Structural of Pyramidal Morphologies SiliconWafersforSurfacePassivationand SolarCells Heterojunction WANG WANG JIANG WANGLi—Gu01·2ZHANGXiao.Dan2’ Feng.You2 Nin91” HAOQiu.YahlXU WEl ZHAO Sheng.Zhi2 Chang—Chun2Yin92 Functional (1lnstituteoflnformationMaterials,HebeiUniversityofTechnology,Tianjin300130,PR.China; ThinFilmDevicesandTechnique 2KeyLaboratoryofPhoto-Electronics ofTianjin.KeyLaboratoryofPhoto—ElectronicInformation Scienceand ThinFilmDevicesand TechnologyofMinistryofEducation,InstituteofPhoto.Electronics Technique, Nankaf 300071,P University,TianjinR.China) Abstract:Silicon cel

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