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低介电常数聚酰亚胺多金属氧酸盐复合薄膜的制备及其性能.pdf
第24卷第2期 高校化学工程学报 N0.2、b1.24
JournalofChemical ofChineseUniversities 2010
2010年4月 Engineering Apr.
文章编号:1003-9015(2010)02-0263-05
低介电常数聚酰亚胺/多金属氧酸盐复合薄膜的制备及其性能
谭麟,赵建青,曾钫,刘述梅,程晓乐
(华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510640)
摘要:以带环氧官能团的3.环氧丙氧基三甲基硅烷tY-H560)作为改性剂在酸性MeCN/I--120混合溶液中和多金属氧酸
盐I‘岱iWIl039进行反应,制得了硅烷改性的多金属氧酸盐有机杂化物SiWlIKH560,红外光谱、XPS等分析结果表明
亚胺化制备了聚酰亚胺,多金属氧酸盐复合薄膜。EDS能谱分析表明多金属氧酸盐颗粒在聚酰亚胺基体中呈均匀分布,
当复合薄膜中多金属氧酸盐有机杂化物SiWlIKH560含量达到20%(wt)时,复合薄膜的介电常数从3.29降低至2.9.
此外,随着SiW。KH560添加量的增加,复合薄膜的储能模量也显著提高,而复合薄膜的热性能没有受到严重影响。
关键词:多金属氧酸盐;聚酰亚胺;复合薄膜;低介电常数
中图分类号:TQ050.4.3;TB383 文献标识码:A
and ofLowDielectricConstant
PreparationProperties
Films
Hybrid
TAN Xiao-le
Lin,ZHAO Shu-mei,CHEN
Jian-qing,ZENGFang,LIU
ofMaterialsand China
Science
(College Engineering,SouthUniversityofTechnology,Guangzhou510640,Chin)
Abstract:A obtained
silane-modified was
mono-lacunaryKeggin-typepolyoxometalateSiWIIKH560 by
reaction acidic
MeCN/H20
of(3-Glycidoxypropyl)trimethoxysilane(KH560)withKsSiWll039(SiWll)in
mixedsolutions.Fr-IRand that
XPS demonstrateKH560is ontothe
spectrums grafted
themodified wasaddedintothe
polyoxometalate pyromellitie
to form
the were
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