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光致发光谱研究自组织InAs双模量子点态填充.pdf

第27卷,第11期 光谱学与光谱分析 2oo7年11月 aIld Analysis November。2007 SpectroscopySpectml 光致发光谱研究自组织InAs双模量子点态填充 贾国治1,姚江宏¨,张春玲1,舒 强1,刘如彬1,叶小玲2,王占国1,2 1.南开大学弱光非线性光子学材料先进技术及制备教育部重点实验室, 天津市信息光子材料与技术重点实验室,南开大学泰达应用物理学院,天津300457 2.中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京100083 摘要采用固态源分子束外延技术在GaAs(100)衬底上,制备了hAs量子点,对样品进行原子力显微镜 测试,统计结果表明量子点尺寸呈双模分布。光致发光谱研究表明,在室温和77K下,小量子点的发光峰 均占主导地位,原因可能是:(1)大量子点的态密度小于小量子点;(2)捕获载流子速率,大量子点小于小量 子点;(3)大量子点与盖层存在较大的应变势垒和可能出现的位错和缺陷,导致温度变化引起载流子从小尺 寸量子点转移到大尺寸的量子点中概率很小。 关键词光致发光谱;量子点;双模分布;态填充 中图分类号:0472.3文献标识码:A 文章编号:1000—0593(2007)11—2178一04 中的带填充效应,量子点密度以及盖层应变形成势垒对载流 引 言 子捕获的影响。 近年来,低维半导体结构由于潜在的应用前景,受到了 1实验 广泛关注[1.3]。量子点(quam唧dots,Q】Ds)对其中的载流子 (如电子、空穴和激子)有强三维量子限制作用,表现出一系 样品是利用固态源分子束(Riber,compact21)外延生长的, 列新颖的物理特性。了解量子点的尺寸分布、大小、密度等 对材料性能的影响,对制备具有优异性能的半导体器件具有 下生长了岛As缓冲层200rm,接着在500℃下,生长厚度 重要意义。双模量子点是通过自组织的方法获得的一类比较 特殊的尺寸分布量子点阵列,这种量子点的光致发光(Pho—层,量子点层和盖层重复3个周期,最后在与前面量子点相 tolulTlinescence,PL)谱中会出现两个相对比较强的发光峰。 同的条件下制备1层没有盖层的量子点,用于删形貌分 通过双模量子点变温PL的观测,对载流子在双模量子点中 析。 的逃逸、俘获以及损耗过程已经进行了研究阻10]。主要认为: 随着温度的升高,载流子会被热激发逃逸到浸润层和盖层, 2结果与讨论 逃逸到浸润层中的载流子会在不同的量子点之间转移。这对 于理解量子点中载流子分布、温度依赖性等重要的物理过程 2.1量子点尺寸分布 具有重要意义,为研制高质量的半导体量子点器件提供了理 论基础。 量子点样品进行了形貌测试。图1给出了1舯×1脚的 本文通过对GaAs(100)衬底上制备的白组织IrAs双模hA5/QAs量子点的形貌图。对AFM结果进行统计分布, force 量子点PL谱和原子力形貌(ato商crnjcmscopy,AFM)量子点密度大约为1.8×1010咖~,平均高度约为5啪,横 分析,发现在室温和77K温度下小量子点发光占主导地位, 向尺寸约为40衄,量子点的横向尺寸和高度均成双模分 这与文献报道结果完全不同。对样品低温(77K)变功率PL布。对高度进行统计分布(图1右上角插图),量子点的高度 谱的实验研究,分析了双模分布量子点随激发功率变化过程 收稿日期:2006.06—18。修订日期:2006-09—26 作者简介:贾国治。1978年生,南开大学泰达应用物理学院博士生 ed也cn *通讯联系人 }撇il:yao

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