切削刀具测温传感器SiO_2多层复合绝缘薄膜的制备及其性能表征.pdfVIP

助 锨 材 料 切削刀具测温传感器Si02多层 复合绝缘薄膜的制备及其性能表征。 崔云先1一，杨德顺2，囝羽1，贾颖2，徐 军3 (1．大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116024； 摘要： 利用双放电腔微波ECR等离子体增强非平 Si0：膜总容易存在针孔，在有针孔的Si0：膜表面再 衡磁控溅射技术成功制备了切削刀具测温传感器的 沉积热电偶薄膜时，热电偶材料原子会透过针孔到达 金属刀具基底，而不能达到绝缘的目的。因此制备绝 Si02多层复合绝缘薄膜，研究了Si02多层复合绝缘 薄膜的制备工艺。通过扫描电镜、原子力显微镜、台阶 缘性能良好的siO。薄膜是切削刀具测温传感器研制 仪和XPS对SiO。功能薄膜的表面形貌、膜厚及成分的关键技术之一。 进行了观测，结果表明，制备的多层复合SiOz薄膜厚 本文介绍了切削刀具测温传感器SiO。绝缘薄膜 度小、绝缘性好，绝缘电阻达到9．5×1012Q。其与金属的制备过程及工艺，并对薄膜性能进行了研究。 基体结合力可达16．7N，满足制作切削刀具测温传感 2 实验装置 器的要求。 关键词： 切削刀具；测温传感器；SiO。绝缘薄膜；多 切削刀具测温传感器SiOz绝缘薄膜制备在大连 层复合：磁控溅射 理工大学三束材料改性国家重点实验室MW-ECR 中图分类号：TH811．1 文献标识码：A PSII磁控溅射设备完成。实验装置简图如图1所示。 文章编号：1001—9731(2009111-1850-03 1 引 言 应用比较广泛的切削温度测量方法有：自然热电 偶法、人工热电偶法、远红外辐射法等。由于切削区域 微波 工作气体 隐蔽在刀尖与工件内，处于半封闭状态，普通的测温方 法无法测量，而通过建立三维热传导模型推导出刀尖 处的温度，又由于存在很多假设条件，其结果不精 确‘¨。 薄膜热电偶是一种先进的测量瞬变温度的传感 图1 薄膜沉积装置示意图 l Sketchofthefilm device 器，其测量原理与普通热电偶相同。由于薄膜热电偶 Fig deposition 的热接点多为微米级的薄膜，与普通热电偶相比，具有 两个相对放置的ECR放电腔分别位于沉积室的 热容量小、响应迅速等特点，所以能够准确的测量瞬态 两侧，通过改变ECR磁场线圈中励磁电流的相对方 温度变化[2’3]。目前有关利用薄膜热电偶测量切削金 向，可分别在沉积室中得到会切场和磁镜场两种磁场 属材料时刀尖处温度的研究很少。本文所研究的切削 位形，这两种磁场位形可以有效地约束扩散到沉积室 刀具测温传感器尺寸极小，嵌入到刀具后刀面靠近刀 中的ECR等离子体。磁控靶和载物台分别位于沉积 尖处，因此，便于在切削的同时快速、精确地测量切削 室的上下侧。频率为2．45GHz的微波源通过矩形波 区域的温度。 导管谐振腔并经石英窗口馈入真空室。工作气体中的 金属材料切削时多采用高速钢或硬质合金刀具， 少量初始电子在磁场中产生拉摩回旋运动，调节磁场 在金属刀具上制备镍铬／镍硅薄膜热电偶存在绝缘层 电源电流，使沿z方向某层面上的磁感应强度达到一 和膜层问物理性能匹配的难点。由于二氧化硅具有良 定值