反应连接230 mm口径RB-SiC反射镜.pdfVIP

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反应连接230 mm口径RB-SiC反射镜.pdf

第20卷第11期 光学精密工程 V01.20No.11 and Precision 2012年11月 0ptics Engineering NOV.2012 文章编号1004—924X(2012)11—2360—05 反应连接230 张斌智1’弘,张 舸1,董德义1’2 (1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中科院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033; 2.中国科学院大学,北京,100039) 摘要:针对传统工艺难以制备口径大于1.2rll的整块反射镜的问题,提出了反应连接制备大口径RB-SiC反射镜的工艺。 该工艺在素坯阶段实现连接,一次反应烧结完成坯体的致密化和镜体的连接。采用该工艺制备了230mm口径的R a/50(A一632.8 反射镜面形没有明显变化;连接镜体表面在焊缝处粗糙度R。3。3rim,连接层与基体的显微结构基本相似,热性能相匹 配。研究结果表明,用新型反应连接技术制成的RB_SiC反射镜可以满足空间光学应用要求。 关键词:反应连接;碳化硅;RB-SiC反射镜;表面轮廓 中图分类号:TN305;TH703文献标识码:A doi:10.3788/OPE2360 230mm RB--SiCmirrorreaction‘-formedoint aperture by j ZHANG Bin—zhil’弘,ZHANGGel,DONG De—yil,2 Advanced (1.KeyLaboratoryofOpticalSystem ManufacturingTechnology, Institute Mechanicsand Sciences, ChangchunofOptics,Fine Physics,ChineseAcademyof Changchun130033,China; Chinese 100039,China) 2.Universityof AcademyofSciences,Beijing *Co author,E-mail:binzhl23@163.com r7rPspo孢di祀g the Abstract:As foramonolithicmirrorwaslimitedin1.2m traditional aperture by newreaction—formed forRB—SiCwas the jointtechnology proposed.Withproprosed SiCmirrorwas inthe the densificationandthe ofmir— joined greenbodyprocess,andgreenbody joint rorwerefinishedinthesame 230mmdiameter

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