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- 2015-09-03 发布于北京
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高精度绝对式光栅尺研究进展及技术难点_孙强.pdf
Topical Review
高精度绝对式光栅尺研究
进展及技术难点
Progress and Technical Features of Absolute Grating with High Precision
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 孙 强
， 高， 7 ，
在现代机加行业中 大多采用光栅传感器来 绝对计量功能从最初由 条码道组合实现
。 2005 ，
进行位置反馈装置 由于光栅尺能够对系统实行 发展到 年采用单轨绝对编码技术 加之单场
， ， LC
全闭环控制 降低滚珠丝杠热变形等原因引起的 扫
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