射频微机电并联电容式开关的参数性能分析.pdfVIP

第 32卷 第 3期 河 南 科 技 大 学 学 报 ：自然 科 学 版 V0I．32 No．3 2011年 6月 JournalofHenanUniversityofScienceandTechnology：NaturalScience Jun． 2011 文章编号 ：1672—6871(2011)03—0025—05 射频微机电并联 电容式开关的参数性能分析 甄可龙 ，吕善伟 ，张 岩 ，黄广君 (1．北京航空航天大学 电子信息工程学院，北京 100191；2．河南科技大学 电子信息工程学院，河南 洛阳471003) 摘要 ：射频微电子机械系统 RFMEMS开关 的高隔离度与低插入损耗特性 ，同开关 自身 的结构参数密切相关。 为了得到更好 的开关性能，在设计过程 中有必要对射频 MEMS开关的相关参数进行优化 。本文用 ADS和 HFSS仿真设计软件，对射频MEMS并联 电容式开关的微波特性进行了分析和仿真，研究了MEMS开关的等 效 电路参数和结构参数的变化对 RFMEMS开关微波特性的影响。