应用条纹投影法测量薄膜反射镜的成形.pdfVIP

第 19卷 第 6期 光学 精密工程 Vo1．19 No．6 2011年 6月 OpticsandPrecisionEngineering Jun．2O11 文章编号 1004—924X(2011)061185—07 应用条纹投影法测量薄膜反射镜的成形 张 鹏 ，张 元 ，金 光 ，钟 兴 ，张 雷 ，姚劲松 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春 130033； 2．中国科学院研究生院，北京 100039) 摘要：针对国内外现有薄膜反射镜面形检测方法存在动态测量不便，测量面形单一等问题，提出了基于正弦条纹投影的 反射镜面形测量方法 。基于此方法搭建 了测量平 台，分析推导显示 ，该方法