一种具有消谐波正弦输出的AMR薄膜磁头设计.pdfVIP

维普资讯 第29卷 第 1期 电 子 器 件 VO1．29 No．1 2006年3月 ChineneJournal Eleetrtm DB Mar．2006 MagneticHeadDesignwithEIiIIli瑚tiIlgHanllOlliCsandSinusoida!WaveOutput WANGLi~in ，HUQiang。，TENGJiao。 ，1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering·UniversityofScienceandTechnologyBeijing,Beijing100083,hCina~、 ＼2．StateKeyLn6Dr扭￡o ofmagnetism。Institute，Physics，TheChineseAcademyofSciences，Beijing100080，hCina ／ Abstract：AnAMR magneticheadwitheliminatingharmonicsandsinusoidalwaveoutputwasdesigned． Thisma ngeticheadisma defromAMRthinfilm ma teria1bymicro-fabricationtechnique．Thehamr onicsa— nalysisandtestingofoutputwaveformsOfma gneticheadwerecompleted．Thisma gneticheadhasexcellent sinusoidalwavetransfercharacteristicnadsensitivityofmagneticfieldsandSingal-to-Noise．Thema ng etic headsareexpectedtobewidelyusedinthesystemsofhighaccuracydisplacementmaesurebyma ng etic railingsrulerandanglemeasurebymagneticrotaryencoder． Keywords；metallicthinfilms；anisotropicma gnetoresistance(AMR)effects~ma gnetichead；hamr onicsanal- ysis EEA0c 3120 一 种具有消谐波正弦输出的AMR薄膜磁头设计 王立锦 ，胡 强 ，滕 蛟 ，1．北京科技大学材料科学与工程学院，北京 100083I 、 2．中国科学院物理研究所磁学国家重点实验室，北京1000801 摘 要：设计了一种消谐波正弦输出的AMR磁头，这种磁头是由AMR金属薄膜材料经过微加工工艺制成。通过对磁头输 出波形的谐渡分析和测试，表明该磁头具有优 良的正弦输出特性、磁场灵敏度和信噪比，可以广泛应用于高精度磁栅位移检 测和磁旋转编码器角度测量系统中。 关键词：金属薄膜材料I各向异性磁电阻(AMR)效应l磁头I谐波分析 中图分类号：TN@I6 文献标识码：A 文章编号：1005-9490(2006}01-0134-04 磁栅数显装置是机械行业广泛采用的三类位移 和量具量仪体积大大缩小而且使其信号检测处理电 传感器之一(其他二类是光栅和感应同步器，在量仪 路变得简单，产品性能更加可靠。由于其成本低、技 领域中被应用得最多的还有容栅)。在国际上，最有 术含量高以及易自动化批量生产，在市场上与传统 名的磁栅装置生产厂商是日本 SoNY磁尺公司(它 的磁栅数显量具量仪相比具有极高的竞争力。 是SoNY公司的一个子公司)。传统的磁栅拾磁磁