一种基于白光干涉法表面形貌测量仪的研究.pdf

二豁基导d势泪瀚甲珍脸Q固go NnOMON StudyofaUrfaceProfilerBasedonScanning WhiteLightInterferometryMethod 湖北襄樊学院 (湖北襄樊 441053)孙艳玲 摘要:本文介绍了一种利用白光扫描干涉法测量表面三维形貌的仪器原理及其整体结构，分析了影响测 量精度的主要因素，给出了最佳干涉位置的识别算法，并用实际测量结果加以论证。 Abatract:Thispaperintroducestheprincipleofscanningwhitelightinterferometrymethodandpresentsthecon- stitutionofsurface3Dprofilersmeasuringsystem.Andthemainfactorswhichinfluencetheprecisionareanalyzed.It empraticallydiscussesthemethodforobservingthebestsiteofinterfering.finally,themainfactorswhichinfluencethe precisionareanalyzed. 关键词 :白芳扫N 于涉 gym厦理’三耐算法 Keywords:White匆htscanning lnterference MeasurementprincipleThreeframemethod 1前言 缩的非线性会影响到仪器的分辨率和灵敏度。本文提 出的三维形貌测量仪利用Z向精密工作台改变被测表 随着光电技术、计算机和激光技术的进步，使得 面位置来驱动干涉条纹，Z向精密工作台采用步进电 相移干涉技术得到了长足的发展，在光学元件质量检 机和压电陶瓷的粗、精两级进给来分别实现大量程和 测、全息、散斑干涉计量中得到广泛应用。特别是表 高精度的测量需要，利用衍射光栅干涉位移传感器对 面轮廓测量领域，如正弦相位调制干涉仪、测量面振 工作台实际位移量的测量值作为反馈量，实现了驱动 动法外差表面轮廓仪和参考面振动干涉仪等。其中以 的闭环控制，使得扫描步距的精度得到保证。 美国WYKO公司的TOPO测量仪最有代表性，它是以 2测量原理 莫尔条纹干涉仪为基础的相移干涉轮廓仪，其垂直分 辨率为1入，水平分辨率为0ARm，属国际领先水平。 测量系统利用Mirau相移干涉，相移干涉是指在 本文提出的测量仪系统以白光干涉的特性为基础， 参考或测量光中引人已知相移量，改变两相干光束的 采用Mirau相移干涉，利用对所获取的干涉条纹图像 相对相位，可从干涉场中任意点在不同相移量下的光 的灰度分析和数据处理，可精确的获得被测工件的表 强值求解该点相位。总体包括光学相移干涉部分、CCD 面二维轮廓 摄像部分、图像卡、计算机和控制单元、Z向精密工 目前，利用白光干涉测量表面三维形貌的过程中， 作台、压电陶瓷和步进电机驱动电路及衍射光栅干涉 几乎所有的仪器都是通过压电陶瓷改变参考镜的位置 信号处理电路7部分。其原理如图1所示。 来驱动干涉条纹，但是压电陶瓷本身的磁滞现象和伸 光束经显微物镜后通过参考镜，再由分光镜的半 中闻认x依夜2006年第4期 45 参考镜 物镜 相移算法能很好地实现了这一目的。 (2)干涉条纹对比度的好坏是测量的关键所在， 由于该测量原理是基于对干涉条纹对比度的判别来 确定零光程差位置的，所以必须设计比较理想的光