热柱复合毛细芯的成形工艺及其优化.pdfVIP

华 南 理 工 大 学 学 报 (自然 科 学 版 ) 第 39卷 第 6期 JournalofSouth ChinaUniversityofTechnology Vol_39 N0．6 2011年 6月 (NaturalScienceEdition) June 201l 文章编号：1000—565X(2011)06—0029—07 热柱复合毛细芯的成形工艺及其优化术 陶素连 汤勇 (1．华南理工大学 机械与汽车T程学院∥表面功能结构先进制造广东普通高校重点实验室，广东 广州 510640； 2．广东水利电力职业技术学院机械系 ，广东 广州 510635) 摘 要：针对当前微 电子芯片的高热流密度 问题，设计 了一种具有复合毛细芯结构的热 柱．其成形工艺为利用犁切 一挤压的方法加工热柱蒸发端和冷凝端表面的交错微沟槽 ，然 后在微