微机械光调制器的制备及其在不同激励条件下的响应研究.pdf

第2 期 电 子 学 报 VoI . 30 No .2 年 月 2002 2 ACTA ELECTRONICA SINICA Feb . 2002 微机械光调制器的制备及其在不同 激励条件下的响应研究 茅惠兵，忻佩胜，柯菁华，赖宗声 （华东师范大学电子科学技术系，中山北路3663 号，上海200062 ） 摘 要： 本文主要讨论了具有机械式抗反射开关（即MARS）结构的新型微机械光调制器. MARS 结构光调制器 由表面微机械工艺制备 测量结果表明，微机械光调制器有一系列的固有频率 当器件被正弦信号激励时，其响应信号 . . 也是正弦信号 当器件被方波信号激励时，响应信号和激励频率有关 当激励方波频率远低于器件固有频率时，器件响 . . 应实际上是对上下两个阶跃信号的响应：出现明显的阻尼振荡效应. 当激励频率在固有频率附近时，器件实际只对方 波的基频效应：响应为正弦信号. 关键词： 微电子机械系统；光调制器；固有频率 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） TN929 A 0372-2112 2002 02-0262-04 Response Study of the Micromechanical Modulator under Different Drive Conditions ， ， ， MAO Hui-bing XING Pei-sheng KE Jing-hua LAI Zong-sheng （ ， ， ， ） Dept . of Electronic Science and Technology East China Normal Uniuersity 3663 Zhong Shan Bei Road Shanghai 200062 china ： ， Abstract A new type of micromechanicaI opticaI moduIator with a MARS structure is presented which is fabricated by the surface micromechanicaI process . The measurement resuIts show that the moduIator has a series of resonant freguencies . When the moduIator is drived by the sinusoidaI signaI，