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基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量.pdf
畅矿衙／纳工艺、材料鸟器件
and
归_Ittt／lllm|NltltlllLIlatlrildilevlca——
doi：10．3969／j．issn．1003—353x．2010．06．017
基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量
曾荣耀1，丁喜冬1’2，刘志宇3，傅刚3
(1．中山大学物理科学与工程技术学院，广州510275；2．光电材料与技术国家重点实验室，广州510275；
3．广州大学固体物理与材料研究实验室，广州510405)
摘要：基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求，设计了一种可用电容力驱动微
桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究，提出了一种新的正面刻蚀成桥方法，
获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术。利用SEM和AFM观察了微桥，
证实微桥已制备成功且微桥桥面形貌比较平整。最后用改进的扫描隧道显微镜(STM)测量了微
桥振动的频率响应，测得的共振频率与理论估算值基本一致。
关键词：微机电系统；微桥制备；湿法刻蚀；共振频率
中图分类号：TH703文献标识码：A 文章编号：1003—353X(2010)06．0584．05
FabricationandResonant Measurementof
Frequency
MEMS．Based
Microbridge
ZengRongya01，DingXidon91”，LiuZhiyu3，FuGan93
(1．School Scienceand Yat-sen 510275，ch／na；
ofPhysics Engineering，SunUniverse,，Guangzhou
Materialsand 510275，China；
2．State妍LaboratoryofOptoelectronic Technologies，G㈣tgghott
3．SolidState andMaterialsResearch
I_aboratory，Guangzhou 510405，China)
Physics University，Guangzhou
Abstract：Anelectrostaticforce was anditsmechanicalresonanceWaS
drivingmierobridgeprepared
detected and wet ofsilicon
byscanningprobemicroscope．Anahematelyisotropicanisotropieetchingprocess
wereused andthe siliconsubstrateinthe
torealizethe between8 chromium
gap bridge heavydoped
the and of
underneath．TheSEMandAFM reveal dimensionssurface the
images roughnessprepared
resonance ismeasureda
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