一种小型四极杆射频电源技术研究.pdfVIP

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2015 1 11 1 1 2 3 3 (1. , 130103 ; 2. , 132001 ; 3. , 130013) :,,、 ,2568Vpp,DC± 215V ,2.7648MHz。 ,、,,。 :; DOI:10.3936/ .issn.1001- 232x.2015.01.003 j . , , , , (1. (

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