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- 2015-09-04 发布于湖北
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DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究.pdf
第 卷第 期 大 连 理 工 大 学 学 报
46 3 .46~ .3
VOl NO
年 月
2OO 6 5 JOurnal Of Dalian University Of TechnOlOgy May 2 O O 6
===============================================================
文章编号: 1OOO-86O8(2OO6DO3-O442-O4
DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究
1~2 1 1 3
李 新 ~ 唐 祯 安 ~ 徐 军 鲍 海 飞~
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