基于AFM的纳米机械刻蚀加工研究.pdfVIP

年 月 农 业 机 械 学 报 第 卷第 期 !# $ %$ $ UUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUUU 基于’( 的纳米机械刻蚀加工研究) 蒋洪奎 朱春耕 胡礼广 姚汤伟 摘要 结合原子力显微镜实验及分子动力学模拟 研究刻蚀加工机理 分析了针尖弹性模量 几何形状 磨 * + , , - - 损等工具因素 刻蚀力 进给量 加工速度等工艺因素 加工材料性质 表面质量等工件因素对加工的影响及作用机 , - - , - 理. 关键词 纳米机械 刻蚀 分子动力学模拟 原子力显微镜 / 中图分类号/ #2!34 文献标识码/ 01 5 度结构 目前通过纳米机械刻蚀加工已可以在材料 引言 / 表面刻蚀加工出复杂图形及简单三维立体=!D % . 原子力显微镜 是扫描探针显微镜的一 加工介观尺度功能器件=2 高密度存储=7D 6 8 9 5; E .F . 种 其机理主要以弹性微悬臂梁作为力传感器 当针 , , 区别于传统意义的机械加工 纳米级别的机械 , 尖在样品表面扫描时 利用针尖与样品之间的作用 , 刻蚀加工中 原子的结构和运动变得非常重要 同时 , , 力引起悬臂梁的形变 来实现对微观表面的探测与 , 在原子尺度 材料也不能被视作连续体 传统的连续 , , 加工 由于 不受加工材料的限制 可实现对半 . 5; , 介质力学已不再适用 本文结合 实验及分子 . 5; 导体 绝缘体 金属等多种表面的加工 目前已成为 - - , 动力学模拟 对纳米机械刻蚀加工过程中 影响加工 , , 众多研究者进行扫描探针刻蚀加工研究最为常用的 过程及表面质量的因素 如 探针 加工工艺