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基于SAW器件的狭缝间作用力监测传感器.pdf
2014焦 仪表技术与传感器 2014
Instrument andSensor No．1
第1期 Technique
基于SAW器件的狭缝间作用力监测传感器
李海宁1，丁杰雄1，姜忠1，付陆元1，刘广民2
Acoustic
摘要：为了测量由两曲面组成的狭缝间的作用力，研究设计了一种基于单端声表面波(SurfaceWave，SAW)
谐振器的接触应力传感器并研究了其制作工艺。首先，围绕曲面狭缝环境，讨论了作用力测量的传感技术方案，并针对不
同的力敏结构在COMSOLMuhiphysies软件下进行了应力仿真，进而确定了声表面波谐振器和支撑基底的尺寸参数；其
次，结合MEMS工艺对单端SAW谐振器的制作工艺进行了研究，并针对狭缝环境提出一种新型SAw器件封装方式。通
过对声表面波传感器设计与制作过程的探究，验证了利用声表面波进行狭缝空间应力测量的可行性。
关键词：声表面波谐振器；曲面狭缝；应力仿真；MEMS工艺；封装方式
中图分类号：TN65 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2014)01—0007—04
for LoadinSlit
SAWSensor
Monitoring
LI Jie—xion91，JIANGLu-yuanl，LIU
Hai—nin91，DING Zhon91，FU Guang-min2
of Industrial ofElectronicScienceand
(1．SchoolMechanical，Electronic，andEngineering，University
of ofMechanical
China，Chengdu611731，China；2．InstituteManufacturingTechnology，
Technology
China of Physics，Mianyang621900，China)
AcademyEngineering
ordertomeasurethe incurved contactsffesssensorbasedon surfaceacousticwavere—
Abstract：In pressure slit，a one—port
sonatorsWas andthemanufacturewas schemeaboutcurvedslitstress Wasdis-
proposed studied．Firstly，thesensing measuring
cussed．ThestresssimulationsinCOMSOL withdifferentforce-sensitivestructureswere detailedsizes
Multiphysics presented．The
ofSAWresonatorand baseswere withMEMS theSAWRresona—
support
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