基于有限元分析的ICF靶半自动装配系统的微夹钳设计.pdf

120 传感器与微系统(1hnsduc盱andMicrosystemTechnologies) 2011年第30卷第4期 基于有限元分析的ICF靶半自动装配系统的微夹钳设计幸 余大海，昊文荣，罗敏，王红莲 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心。四川绵阳621900) 摘要：根据惯性约束聚变(ICF)靶零件的特点，确定用于ICF靶半自动装配系统微夹钳的技术指标，并 完成其结构设计。该微夹钳采用柔性铰链机构和压电陶瓷驱动，可根据需要更换不同形状和开口距离的 夹口，以适应夹持不同靶零件。以压电陶瓷的2种极限参数为载荷，分析了微夹钳的张合量、应力分布、应 变量，并采用非线性接触分析对夹持力和夹持效果进行了模拟。通过多次有限元分析和优化设计，确定了 微夹钳的最佳尺寸结构。从各项分析结果表明：该微夹钳各项性能参数满足ICF靶装配的要求。 关键词：微夹钳；柔性铰链；有限元分析；非线性接触分析；ICF靶 中图分类号：TP214．3文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)04-0120似 。 _ olofthethe usedn forthlesemiaUtomatlc Desigl micro-grippergrip[ ofICF basedonfinite assemblysystem targets element analySiS YU Da．hi，WUWen．tong，LUOMin，WANGHong．1ian CenterofLsser of 621900，China) (Research Fusion，ChinaAcademyEngineeringPhysics，Mianyang of usedfor tOthecharactersofICF the the performanceparametersmicmgripper Abstract：According targets，tIIe of is inthis semi．automatic ofICF aredefined．Theframework designed assemblysystem targets microgripper work．Theflexure and actuatorare tothe differenttoolsofthe hinge piezoceramics adopted micrngripper．The canbe forthe twolimit ofthe actuatorareseta8the micrngripperchangedtargets．The parameterspiezoceramics thefiniteelement ofthe distributi