负偏压不稳定性的危害及防治.pdfVIP

维普资讯 第 7卷，第9期 电 子 与 封 装 总第53期 Vo1 7 No 9 ． ． ， ELECTRONICS ＆ PACKAGING 2007年9月 ⑧ (ll碹与0 毒、l性 负偏压不稳定性的危害及防治 任佳栋 ，汪 辉 ，陆 峰 (1．上海交通大学微电子学院，上海 200030；2．中芯国际 (上海 )集成电路有限公司，上海 201203) 摘 要：负偏压不稳定性 (NBTI)已成为现代集成电路制造的巨大挑战。文章将讨论 负偏压不稳定 性对器件及电路的