基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测.pdfVIP

第31卷第2期 佛山科学技术学院学报(自然科学版) V01．31No．2 1 ofFoshan ScienceEdmon) Mar．2013 203年3月 Journal University(Natural 文章编号：1008—0171(2013)02-0058一04 基于白光干涉原理的微齿轮几何特征检测 傅贵武1，申 路1‘2，王宇华1 (1．佛山科学技术学院机电工程系，广东佛山528000} 2．华南理工大学机械与汽车工程学院．广东广州510640) 摘要：将垂直扫描白光干涉(VSI)测量方法应用于微齿轮的几何特性检测中，该方法具有非接触、大量程、高精 度、高效率等特点，水平分辨力为亚微米级．垂直分辨力可以达到纳米量级，并通过Hilbert变换法提取包络峰 值来恢复被测表面的三维形貌尺寸。研究结果表明，垂直扫描白光干涉测量方法能够实现微齿轮几何特性的检 测，满足设计中提出的精度要求。 关键