铝掺杂氧化锌薄膜的电学和光学性能.pdfVIP

第37卷 第3期 吉林 大 学学报 (工学版) Vol.37 No.3 2007年5月 JournalofjilinUniversity(EngineeringandTechnologyEdition) May20O7 铝掺杂氧化锌薄膜的电学及光学性能 刘耀东，‘“，李光玉 ，‘连建设 ‘ (l.吉林大学 汽车材料教育部重点实验室，长春 130022;2，长春工业大学 材料科学与工程学院，长春 130012) 摘 要:利用脉冲激光沉积法，在氧气氛下(氧分压为nPa)以石英玻璃为基体沉积了铝掺杂 氧化锌薄膜。靶材选用锌铝合金靶，沉积过程中基体温度保持在150℃。研究了ZnO薄膜中 铝的质量分数与薄膜电学性能和发光性能的关系。结果表明，掺杂铝的质量分数为1.37%时 所获得的ZnO薄膜具有最小的电阻率和较强的紫外发光特性。 关键词:材料实验;铝掺杂氧化锌薄膜;紫外发光;电学性能;脉冲激光沉积 中图分类号:TGlls.26;TN3os.3 文献标识码:A 文章编号:1671一5497(2007)03一0495一0