溶胶凝胶法制备ZnOAlZAO薄膜光电特性.pdfVIP

技． 鬈莅一 鹭． nO：A A 溶胶一凝胶法制备Z I(ZO) 薄膜的光电特性 李世平，李玲 (暨南大学物理系光电和纳米材料实验室，广州51(、632) 摘要：采用溶胶一凝胶法在石英衬底上制备了ZA0薄膜。_i11：氮气气氛下进行退火处理，x射线衍射 (XRD)谱表明ZA0薄膜具有六角纤锌矿的晶体结构。对ZA0薄膜的光电特性进行测量，结果显永薄 膜的光致发光峰发生蓝移，喇曼光谱随A1掺杂浓度的变化发生相应的改变。薄膜的电导率在Al浓度为1％， 700℃退火处理时达到最高值。 关键词：溶胶-凝胶；掺杂铝氧化锌薄膜；光电特性 中图分类号：TN305文献标识码：A 文章编号：l003—353X(2006)10．0733．05 andEIectr