退火对用PLD法制备ZnO薄膜发光影响.pdfVIP

第30卷第3期 红外与毫米波学报 V01．30．No．3 2011年6月 J．InfraredMillim．Waves June．20ll 文章编号：1001—9014(2011)03—0224—05 退火对用PLD法制备ZnO薄膜的发光影响 魏显起， 王勇杰， 张 仲 (济南大学物理科学学院，山东济南250022) 摘要：用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(11I)和蓝宝石衬底上制备的氧化锌薄膜，在不同的退火温度和不同的退火 氛围中进行了退火处理．退火温度及退火氛围对ZnO薄膜的结构和发光特性的影响用X射线衍射(XRD)谱和光 致发光谱进行了表征．实验结果表明，随着退火温度的提高，ZnO薄膜的压应力减小，并向张应力转化．在不同的退 火温度退火的薄膜的光致发光谱表明，随着退火温度的提高，薄膜的紫外发射逐渐增强，缺陷发射逐渐减小．在不 同退火条件下的退火实验表明，在蓝宝石衬底上、氧气氛围中退火的薄膜，在700℃时呈现无应力，紫外发射强度对 可