热氧化法制备ZnO薄膜和其紫外探测特性研究.pdfVIP

张电字·嗷光 V01．18No．10 第18卷第10期2007年10月Journal Oct．2007 ofOptoelectronics·Laser 热氧化法制备ZnO薄膜及其紫外探测特性研究 郑学剐’ (临沂师范学院物理系，山东临沂276005) 摘要：采用电子束蒸发方法在玻璃衬雇上沉积了五薄膜，然后在空气中进行了400℃至550℃加热退火处理， 并基于金属一半导体一金属(MSM)平面式结构．制备了ZnO光电导型紫外探测器。实验发现：退火后的薄膜样品 表面出现了ZnO纳米线，纵横比在300～1000间；探测器的响应峰值波长约为360nm，紫外区光响应度是可见 区的5倍以上}360nm紫外光照射的瞬态响应符合e指教变化规律，e指数曲线拟合所得到的驰豫时间常数反 映了这个过程中的时间积累。 关键词：