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快速精确定位探针的微操作系统控制方法.pdf
第9卷第6期 纳米技术与精密工程 V01．9No．6
201 andPrecision Nov． 2011
1年11月 NanotechnologyEngineering
快速精确定位探针的微操作系统控制方法
席文明，雷李辉，朱晓明
(厦门大学机电工程系，厦门361005)
摘要：为了快速、精确定位操作细胞的探针，利用视觉空间的特征运动误差对视觉空间与机械手空间的映射矩阵
进行校正，研究了局部视觉空间重复校正方法以及误差趋近极小值的最小二乘全局校正方法．为了减小随机噪声
对精度的影响，用校正后的映射矩阵替换卡尔曼滤波器状态方程中的输入系数矩阵，利用卡尔曼滤波器估计方程
控制特征运动．通过实验求取映射矩阵校正后的特征运动误差，由于取点有限以及影响精度的参数较多，经过重复
校正使误差趋近极小值．应用最小二乘全局校正方法，可使特征运动误差控制在5个像素范围内．采用全局校正后
的映射矩阵替换卡尔曼滤波器状态方程中的输入系数矩阵，并用卡尔曼滤波器控制特征运动，可使特征运动误差
控制在1个像素范围内．系统校正后，当探针跟踪孔直径为100
tim、相邻孔间距为400灿·的孔阵列时，跟踪10个
s．
孔的时间为14
关键词：快速精确定位；微操作系统；最小二乘法；卡尔曼滤波器
中图分类号：TP24 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2011)06-0521-05
ControlMethodof for
Micro-ManipulationSystem
FastPrecisionProbe
Positioning
XI
Wen—ming，LEILi·hui，ZHUXiao-ming
ofMechanical 361
(Department Engineering，XiamenUniversity，Xiamen005，China)
orderto the that cellsfastand movementerrorof
Abstract：Inpositionprobeoperates precisely，the
characteristicinvision wasusedtorevise matrixofvision and
point space mapping spacemanipulator
methodbasedonlocalvision andtheleast methodbasedon
revision space squares global
space．Repeat
the
revisioncan errors theminimumwereresearched．Inordertoreduceinfluence
whichmake approach
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