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科技创新导报 2010 NO.12 Science and Technology Innovation Herald 工 程 技 术 声表面波传感器在制作过程中影响的主要因素 林卓彬 杨华 ( 长春职业技术学院 吉林长春 1 3 0 0 3 3 ） 摘 要:传感器是把客观世界中包含的各种信息通过载体转换出来。由于人们在认识和思维上有局限,却习惯接受和处理电磁信号携带 的信息。因此,在以电磁信号为载体的信息社会迅速发展的今天,传感器就显得尤为重要。 关键词:声表面 波传感器 制作过程 中图分类号:TP212.9 文献标识码:A 文章编号:1674-098X(2010)04(c)-0080-01 从20世纪60年代开始,各国研究人员开 会使噪声系数增大,延迟线Q值的增加也会 迟线作为放大器负载连接于放大器两端, 始对声表面波(Surface Acoustic Wave缩 使插损增大,因此必须综合考虑。 由于放大器的输入、输出阻抗均为容性,不 写为SAW）器件给予了高度重视,但是主要 (2）敏感器的频率长期稳定性,敏感器 能与延迟线匹配。所以通常采用的匹配方 集中在商业和通信领域。70年代中期,从电 的频率长期稳定性主要有以下几方面因 法是电感调谐,它有较好的温度稳定性,并 视中频滤波器开始,开发并生产了大量的 素: 且组件少,封装简单,易于分析,适合于声 各种滤波器和谐振器。此后,由于价格下跌 ①压电基片在制备及安装过程中引入 表面波温度敏感器的设计。 和市场份额趋于稳定,使许多公司削减了 了应力,时间长了这个应力的松弛便会导 除了多层结构的基片材料外,声表面 在这方面的研究开支并退出竞争。在20世 致基片性能的改变,从而改变振荡频率。为 波传感器的叉指换能器也在很大程度上决 纪70年代国际上就有研究报告出现。近年 克服这种因素的影响,通常采用较厚的基 定多层结构声表面波传感器的频率响应, 来,随着环保和反恐的需要,SAW传感器再 片,并在制备和安装过程中尽量少引入附 因此选择一套有效的分析理论来探讨叉指 次掀起新的研究高潮,特别是SAW化学、生 加应力,或采用预老化的方法。 换能器的影响将利于设计多层结构声表面 物传感器,更是受到各国高度重视。 ②由于电极上沉积的杂质、水汽,故温 波传感器。用δ函数模型仿真谐振器谐振 作为一种新型的微传感技术,声表面 敏头通常采用充氦气然后密封的方法较 特性具有合适的精确度,但这种模型不能 波技术已在欧美发达国家开展了深人的研 好。 将谐振器的IDT内反射(有时会严重影响器 究。国内如:清华大学、上海交大、南京大学 ③电极材料和压电基片材料的原子的 件性能）包括进去,不能模拟内反射的效 已有多项研究。目前在材料、器件模型建 相互扩散,以及由于使用了有机材料而导 果。对于脉冲响应模型是基于傅立叶变换 立、优化设计、器件封装、性能提高、模式转 致的化学作用。 思想进行设计的,但这种模型也没将内反 换、信号检测等方面有很多课题要做。声表 (3）声表面波延迟线的选择,声表面波 射考虑进去;等效电路模型比较适合多对 面波技术大器晚成,有着广阔的前景。理论 延迟线是由在一个压电基片上的两个换能 叉指换能器的分析。由2表可见,COM耦合 上,声表面波器件除功耗小、稳定和精确等 器组成的,其中输入换能器能将电能转变 模型在声表面波器件模拟过程中假设条件 特点外,还可以实现无线无源传输谐振信 为机械能,而输出换能器则能将机械能转 较少,是比较理想的、分析结果最接近试验 号。基于影响声表面的因素波在对声表面 变为电能。两个换能器之间的距离为声表 结果的模型。对于单端SAW谐振器,用 波温度传感器的设计制作上影响的主要考 面波传输的路径,它决定着电信号输出的 COM模态耦合模型去分析,定义叉指换能 虑以下几方面: 延迟时间。